美國(guó)mks真空計(jì)的選型指南mks真空計(jì)測(cè)量低于大氣壓的氣體壓強(qiáng)的工具稱為真空計(jì)。也叫真空規(guī)。凡能從其本身測(cè)得的物理量（如液柱高度、工作液、比重直接計(jì)算出氣體壓力的稱真空計(jì)，這種mks真空計(jì)測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。mks真空計(jì)主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等）與壓力的關(guān)系間接測(cè)量，其測(cè)量精度較低，而且測(cè)量結(jié)果還與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)。因此相對(duì)真空計(jì)必須用真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量。美國(guó)mks真空計(jì)但它能直接讀出被測(cè)壓力，使用方便，在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。mks真空計(jì)需要測(cè)量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小,寬達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)以上,尚無(wú)一種真空計(jì)能適用于從粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范圍測(cè)量,因而有多種真空計(jì)。zui常用的有U形管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)、電阻真空計(jì)和冷熱陰極電離真空計(jì)，以及可以連續(xù)測(cè)量的復(fù)合真空計(jì)。美國(guó)mks真空計(jì)的選型特點(diǎn)：
低成本傳感器的替代方案
緊湊型系統(tǒng)設(shè)計(jì)，將電路與傳感器集成與一體
由于傳感器具有快速的、準(zhǔn)確的和可重復(fù)性的壓力測(cè)量，從而縮短了工藝周期時(shí)間。
擁有清潔的、牢固的設(shè)計(jì)和不銹鋼結(jié)構(gòu)，因此傳感器適合于環(huán)境嚴(yán)苛的工藝
易于操作，具備模擬輸出和數(shù)字通信功能
由設(shè)定點(diǎn)繼電器獲得的工藝控制具有快速的響應(yīng)時(shí)間。
美國(guó)mks真空計(jì)的主要參數(shù)：
測(cè)量范圍：0.1至1000Torr
精度（10-1000Torr）：±1%讀數(shù)
重復(fù)性：±0.3%讀數(shù)
電源要求：9至30VDC < 1.2W美國(guó)mks真空計(jì)的選型指南
|
|
|
|
|
 |
